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【玩轉XPS】案例解析X射線光電子能譜(XPS)八大應用!

表面分析技術 (Surface Analysis)是對材料外層(the Outer-Most Layers of Materials (<100nm))的研究的技術。

X射線光電子能譜簡單介紹

XPS是由瑞典Uppsala大學的K. Siegbahn及其同事歷經近20年的潛心研究于60年代中期研制開發出的一種新型表面分析儀器和方法。鑒于K. Siegbahn教授對發展XPS領域做出的重大貢獻,他被授予1981年諾貝爾物理學獎。

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X射線激發光電子的原理

XPS現象基于愛因斯坦于1905年揭示的光電效應,愛因斯坦由于這方面的工作被授予1921年諾貝爾物理學獎;

X射線是由德國物理學家倫琴(Wilhelm Conrad R?ntgen,l845-1923)于1895年發現的,他由此獲得了1901年首屆諾貝爾物理學獎。

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X射線光電子能譜( XPS ,全稱為X-ray Photoelectron Spectroscopy)是一種基于光電效應的電子能譜,它是利用X射線光子激發出物質表面原子的內層電子,通過對這些電子進行能量分析而獲得的一種能譜。

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這種能譜最初是被用來進行化學分析,因此它還有一個名稱,即化學分析電子能譜( ESCA,全稱為Electron Spectroscopy for Chemical Analysis)。

XPS譜圖分析中原子能級表示方法

XPS譜圖分析中原子能級的表示用兩個數字和一個小字母表示。例如:3d5/2

(1)第一個數字3代表主量子數(n);

(2)小寫字母代表角量子數 ;?

(3)右下角的分數代表內量子數j

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l—為角量子數,l = 0, 1, 2, 3 ……,

注意:在XPS譜圖中自旋-軌道偶合作用的結果,使l不等于0(非s軌道)的電子在XPS譜圖上出現雙峰,而S軌道上的電子沒有發生能級分裂,所以在XPS譜圖中只有一個峰。

XPS譜圖的表示

橫坐標:動能或結合能,單位是eV,一般以結合能為橫坐標。

縱坐標:相對強度(CPS)。

結合能為橫坐標的優點:

(1)結合能比動能更能反應電子的殼層結構(能級結構);

(2)結合能與激發光源的能量無關。

XPS譜圖中譜峰、背底或伴峰

(1)譜峰:X射線光電子入射,激發出的彈性散 射的光電子形成的譜峰,譜峰明顯而尖銳。

(2)背底或伴峰:如光電子(從產生處向表面)輸 送過程中因非彈性散射(損失能量)而產生的 能量損失峰,X射線源的強伴線產生的伴 峰,俄歇電子峰等。

(3)背底峰的特點:在譜圖中隨著結合能的增加,背底電子的強度逐漸上升 。

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XPS譜圖的背底隨結合能值的變化關系

XPS峰強度的經驗規律

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(1)主量子數小的殼層 的峰比主量子數大 的峰強;

(2)同一殼層,角量子 數大者峰強;

(3)n和l都相同者,j大者峰強。

應用一:表面元素全分析

1. 表面元素全分析的目的?

了解樣品表面的元素組成,考察譜線之間是否存在相互干擾,并為獲取窄區譜(高分辨譜)提供能量設置范圍的依據。

2. 表面元素全分析的方法

(1)對樣品進行快速掃描,獲取全譜;

(2)對譜圖中各譜線的結合能進行能量校正;

(3)校正后的結合能和標準數據(或譜線)對 照,確定各譜線的歸屬,即確定各譜線代 表的元素。

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二氧化鈦涂層玻璃試樣的XPS譜圖

應用二:元素窄區譜分析

1. 元素窄區譜分析的方法?

(1)以全分析譜作為基礎,由其確定掃描的能量范圍。

(2)與全譜相比,它的掃描時間長,通過的能量小,掃描步長也小,這樣有利于提高測 試的分辨率。

2. 元素窄區譜分析的用途

(1)分析離子價態

做試樣的XPS譜和標準譜圖做對比,或同時做試樣和某一價態的純化合物的XPS譜,然后對比譜圖的相似性。

案例:鑒定銅紅玻璃試樣中銅的價態

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(2)確定元素不同離子價態比例

方法?

A. 對試樣做XPS分析,得到窄區譜。

B. 若譜峰不規則,則對譜線進行擬合,得到不同價態元素的譜線;

譜峰解疊?

A. 對不同價態的譜峰分別積分得到譜峰面積;

B. 查各價態的靈敏度因子,利用公式求各價態的比例。

案例:確定二氧化鈦膜中+4價和+3價的比例

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應用三:材料表面不同元素的定量

方法:(1)對試樣做XPS分析,得到窄區譜;(2) 根據峰面積和靈敏度因子,利用公式計算各元素的相對含量。

應用四:化學結構分析

依據:(1)原子的化學環境與化學位移之間的關系;(2)羰基碳上電子云密度小, 1s電子結合能大(動能小);(3)峰強度比符合碳數比。

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應用五:深度分析

原理:用離子槍打擊材料的表面,這樣可以不斷地打擊出新的下表面,通過連續測試,循序漸進就可以做深度分析,得到沿表層到深層元素的濃度分布。

利用離子槍依次剝落表面,進行XPS分析,就可以得到深度分布圖譜

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案例:Ni-B合金表面Ni、B、O的表面濃度與氬刻時間的關系

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應用六:高分子結構分析

光降解作用?

方法:比較光照前后譜圖是否有變化,變化的程度如何。

案例:紫外光對聚丙烯酸甲酯的降解

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案例:聚偏氯乙烯降解反應隨時間的變化

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輻射交聯?

高分子鏈之間形成新的鍵,使之成為網狀結構高分子的反應。交聯分為化學交聯、光交聯及輻照交聯。

交聯度的定義:表征骨架性能的參數,是指交聯劑在反應物中所 占的質量分數。

案例:振激峰的相對強度與輻射劑量關系的C1s的XPS譜?

輻射劑量Sv: a:0; b: 46.38; c:85.11; d: 140.76; e:259.7

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有機物界面反應?

方法:測反應前后某一元素結合能的變化。

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應用七:XPS在分子篩方面的應用

判斷分子篩的類型

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分子篩中各陽離子的交換度

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判斷分子篩的純度

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分子篩的酸性質

Si/Al 比越高,O1S的結合能越大。這是由于SiO2中O1S的結合能為532.8ev,Al2O3的為530.8 ev。因此O1S的結合能越大意味著酸量越少,酸強度增大。

應用八:催化劑中毒

Pd催化劑在含氮有機化合物體系中失活前后的XPS譜圖

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