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第1步：不同格式數據之間的轉換

（1）將非filename.vms格式數據轉換成filename.vms格式數據

Casaxps處理filename.vms格式的數據，儀器可以直接給filename.vms格式的數據，但一般情況下給出的是filename，不加任何后綴的文件，這種文件可以用記事本，excel，origin等打開，但是不能用Casaxps打開，但是可以轉換成可以用casaxps打開的文件，轉換方式如下：

將原始數據用Excel打開，將binding energy和intensity（CPS） 兩列數據取出放在一個新建的txt文檔下，刪掉一些沒用的東西，確保數據格 式符合X-Y兩列。將修改好的txt文檔改為dat文檔（直接修改后綴），然后將 dat文件放在一個只有dat文件的專門文件夾里，這個很重要，如果這個文 件夾里有其它格式的文件，那么就無法完成數據的轉換。

打開casaxps軟件， 點convert按鈕，在專門存放dat數據的文件夾下找到需要轉換的文件，打開 就完成了轉換。記住，一旦打開就會在該文件夾下生成一個filename.vms格式的文件，這樣會導致其它文件無法轉換，將這個新生成的文件轉移到其它文件夾下就可以了，這樣新生成的filename.vms文件就可以直接在 Casaxps里面打開了。

在Casaxps里面將filename.vms格式的文件打開， 點擊 save Tab Ascll to clipbard 按鈕 , 出現如下界面， 點擊copy all to clipboard鍵， 將clipboard section 界面關閉后， 將復制的數據粘貼到txt文檔即可。

第2步：Casaxps軟件處理filename.vms格式的文件

1. 用casaxps處理寬譜 能夠得到的信息

（1）定性分析

歸屬寬譜中各個峰。圖1為經過峰歸屬后所得到得xps譜圖。

峰歸屬步驟

打開vms格式文件，點擊Options →Elements，出現Element library窗口，點擊Periodic table，出現一張元素周期表，點擊find peak，寬譜上各個峰就被歸屬了。但是，這時候歸屬的峰多，不容易分辨，可以做一些修飾。

點擊 Options →Annotation，出現Annotation窗口，點擊peak labels，會出現很多峰相對應的信息如O1s、C1s等等，點擊其中一個，點Apply，峰就被標記出來，這樣標記完所有重要而又明顯的峰后，再次點擊Options →Elements→Periodic table→Clear all elements， 峰歸屬與標記就完成了。

然后點擊Options → Tile display，出現Tile display parameter窗口，點Display，該窗口的最下面有Title，在空白框里輸入想命名的英文文件名，如GaN1 wide。

（2）元素含量分析

含量分析步驟

在峰歸屬基礎上，點擊 Options →Elements→Periodic table→Find peaks， 寬譜上可能有的元素在周期表上為紅色，選擇想要計算元素含量的元素，點 擊Creat Region ,就計算出了各個元素的含量，然后點擊Clear all elements。

另一種計算含量的方法： 正確識別各峰后，可以按照處理窄譜的方法處理寬普：點擊工作區使其處于激活狀態， 點擊quantify 按鈕，出現下面界面，點regions，再點creat，

點creat出現下面界面后，如圖中紅箭頭所指位置處，左右移動邊界，選定要計算含量的區域，得到如下圖：按照此方法將其與需要計算含量的元素的區域畫出來

在Annotation窗口下，點Quantification, 選上如圖的選項，點Apply就會得到含量報告。

元素含量和峰重合，看不清，怎樣將它們分開呢？

方法1：如下所示快捷鍵，任意點擊一個按鈕可以將譜圖移動，按自己的需要來點擊這兩個按鈕，直至達到要求為止。

方法2：如下圖，在annotation窗口下，點擊annotation history,將其激活，會出現左圖，有紅色方框的說明能夠移動，點住name上的紅色方框，向右移動即可。

這些快捷鍵相關的操作在option下均可以找到。

第3步：使用Casaxps處理精細譜

具體操作步驟：扣背底 –分峰、擬合–含量計算

打開vms格式的窄譜文件，點擊工作區使其處于激活狀態，點擊quantify 按鈕，出現下面界面，點regions，再點creat。

點creat出現下面界面后，如圖中紅箭頭所指位置處，左右移動邊界，選定要分峰的區域， 即扣背底。

扣背底后出現下面界面

點component，在component狀態下點擊creat，根據譜圖特點點擊creat分出一個峰后先 擬合一下，再點擊creat分第二個峰，擬合

在component狀態下點擊creat，直至分出所有峰，點擊 Fit component，出現以下界面。

點annotation 按鈕，激活component，點apply，出現以下界面。完成分峰、擬合、 含量計算。

荷電校正

由于在測試過程中會發生結合能的偏移，完成分峰擬合含量計算之后就要進行荷電校正，我們的儀器一吸附碳的結合能284.6eV作為標準，進行校正，步驟如下：

點擊processing按鈕，出現 如下窗口， 點擊calibration, 在measured后面的空格中 輸入吸附碳測量值， 在true后面的空格中輸入 標準值284.6， 將有圖紅色框中的兩個 選項打鉤， 點apply即可

下面的結果就是經過校正后的最終結果

第4步：將擬合好的數據保存為.txt格式

點擊 save Tab Ascll to clipbard按鈕 ,出現如下界面，點擊copy all to clipboard鍵，將clipboard section 界面關閉后，將復制的數據粘貼到txt文檔即可。

如果該步操作無法進行，可能是沒有輸入該軟件的用戶名和序列碼，點擊help下拉菜單about Casaxps,輸入正確的用戶名和序列號（用戶名和序列號保存在SN.txt文本文檔中），其它的操作如上。

第5步：將從Casaxps轉換出的數據導入到origin

將從casaxps轉換出的數據導入到origin后的譜圖

導入到origin后可以像處理其它數據 一樣，去掉第一列（動能列），修改 一下坐標，作圖，標注峰名稱，就得 到可以應用的最終結果。

導入到origin后可以像處理其它數據 一樣，去掉第一列（動能列），修改 一下坐標，作圖，標注峰名稱，就得到可以應用的最終結果。