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樣品制備:將SAM等材料制備在適合的基底(如硅片或?qū)щ姴A┥希瑯悠沸璞3智鍧嵑推秸源_保成像質(zhì)量。
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官能團及紅外波數(shù)確定:自測FTIR或者根據(jù)文獻(xiàn),確定SAM官能團的紅外譜波數(shù),以便鎖定下一步測試的IR峰位置。
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AFM-IR:使用調(diào)制的紅外激光照射樣品,同時通過AFM探針獲得樣品在各位置的紅外吸收光譜。

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